테라헤르츠 비행시간 단층촬영을 이용한 마이크로전자 부품의 컨포멀 코팅 두께 비파괴 매핑에 관한 비교 연구

Zhai, M., Calvelli, S., Shi, H., Ricci, M., 라우레티, S., Singh, P., Fu, H., 로케, A. 및 시트린, D.S.

초록

컨포멀 코팅은 마이크로전자 회로, 그리고 점차적으로 광전자 및 광학 소자를 습기, 먼지, 가스, 기계적 마모와 같은 환경적 유해 요인으로부터 보호하는 데 사용됩니다. 컨포멀 코팅이 적용된 마이크로전자 부품의 평균 고장 시간(MTTF)을 산정하는 기존의 방법은 대개 많은 인력과 시간이 소요됩니다. 우리는 최근(Shi et al., 2024) 준광학 기법인 테라헤르츠(THz) 비행시간 단층촬영(TOFT)을 원칙적으로 제곱 센티미터 규모의 시료 표면에 형성된 콘포멀 코팅의 두께를 매핑하는 데 활용할 수 있음을 보여주었다. 본 연구에서는 THz TOFT를 활용하여 마이크로전자 테스트 시료에 적용된 여러 종류의 컨포멀 코팅을 비파괴적이고 비접촉적인 방식으로 특성 분석하였다. 본 연구는 아크릴 컨포멀 코팅에 대한 기존 연구를 확장한 것이다. THz TOFT는 실리콘 및 아크릴 컨포멀 코팅의 두께 특성 분석에는 효과적인 것으로 나타났으나, 이 기술로는 측정하기에는 너무 얇은 나노미터 단위의 원자층 증착(ALD) 금속 산화물 코팅의 경우 효과적이지 않은 것으로 나타났다.

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